サーパス工業株式会社のレギュレータ

サーパス工業株式会社のレギュレータ

サーパス工業株式会社は，半導体，理化学，医療機器の設計・開発から製造・販売を行っている会社です。サーパス工業株式会社では，お客様のニーズに素早く対応し，付加価値の高い製品を作るため，企画・開発・製造・販売まで自社で一貫して行える組織作りを目指しています。

製造した商品は，最近注文を浴びている半導体・FPD業界で多数使用されています。

半導体製造装置・FPD製造装置内での薬液コントロールに，圧力センサ，流量計，バルブ，レギュレータなどが使われています。薬液の流量調整にはケミカルレギュレータが使用されます。脈動などによって不安定となった，1次側の圧力を制御し，2次側に安定して供給することができます。また，オリフィスを後付けすることにより，2次側の流量を制御することが可能です。